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Discuz! Board › 资源 › 消防规范›【已作废】特种气体系统工程技术规范 GB50646-2011

【已作废】特种气体系统工程技术规范 GB50646-2011

前言: 中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术规范Technical code for speciality gas system engineeringGB50646-2011主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2012年6月1日中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1076号关于发布国家标准《特种气体系统工程技术规范》的公告现批准《特种; 2024-12-5 09:19

1 总则: 1.0.1 为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理、环境友好。制定本规范。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建的电子工厂的特种气体输送系统工程的设计、施工和验收；不适用特种气体的制取、提纯、灌装系统的设计、施工和验收。 1.0.3 特种气体系统的设计和施工及验收除应符; 2024-12-5 09:19

2 术语: 2.0.1 特种气体 specialily gas 电子产品生产的、掺杂、外延、离子注入、刻蚀等工艺中使用的自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性、氧化性、惰性等特殊气体。 2.0.2 特种气体系统 speciality gassystem 是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 特种气体间 speciality gasroom 是指在电子生产厂房放; 2024-12-5 09:19

3 特种气体站房: 2024-12-5 09:19

3.1 一般规定: 3.1.1 特种气体站房应布置在独立的建筑物、构筑物、空旷区域或生产厂房的房间内。 3.1.2 布置在生产厂房内的特种气体间，可采用气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格向生产线供应特种气体。 3.1.3 布置在单独建构筑物或区域内的特种气体站，可采用气瓶集装格、卧式气瓶、ISO标准集装瓶组、长管拖车向生产线供应特种气体。 3.1.4 特种气体站房的设置应符合下列规定： 1 在生产厂房内的特; 2024-12-5 09:19

3.2 特种气体站房分类: 3.2.1 特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类和工程设计。 3.2.2 特种气体间的生产类别应符合下列规定： 1 可燃性特种气体间应为甲类； 2 毒性气体间、腐蚀性气体间、氧化性气体间应为乙类； 3 惰性气体间应为戊类。 3.2.3 生产厂房内的特种气体间根据气体性质宜分为可燃性气体间、毒性气体间/腐蚀性气体间、惰性/氧化性气体间等。 3.2.4 硅烷、氨气等大; 2024-12-5 09:19

3.3 特种气体设备的布置: 3.3.1 不相容的特种气体的气瓶架应布置在不同房间里；当布置在同一房间时，气瓶架之间的距离应大于6m。 3.3.2 同时具有可燃性和毒性气体的设备应放在可燃性气体间。 3.3.3 特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、尾气处理装置、气瓶集装格宜靠墙布置，具有相同或相近性质的气体设备应布置在一起。 3.3.4 特种气体间的中间通道宽度不得小于2m，特种气体柜与墙体之间的距离宜大于0.1m，特种气体柜之间; 2024-12-5 09:19

4 特种气体工艺系统: 2024-12-5 09:19

4.1 一般规定: 4.1.1 特种气体工艺系统应设置下列主要装置： 1 储存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格； 2 气体分配用阀门箱、阀门盘； 3 辅助氮气吹扫系统； 4 尾气处理装置。 4.1.2 特种气体工艺系统的设计应满足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数、污染控制、使用安全的要求。 4.1.3 不相容的特种气体的排气管道不得接入同一排气系统。 4.1.4 不相容的特种气体的排风; 2024-12-5 09:19

4.2 特种气体输送系统: 4.2.1 特种气体系统的气瓶柜、气瓶架的设置应符合下列规定： 1 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气（源）瓶（单瓶式）、双工艺气瓶外置吹扫氮气（源）瓶（双瓶式）、双工艺气瓶内置吹扫氮气（源）瓶（三瓶式）等多种结构配置； 2 不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中； 3 气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板； 4 系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核; 2024-12-5 09:19

4.3 吹扫和排气系统: 4.3.1 特种气体系统吹扫氮气的设置，应符合下列规定： 1 自燃性、可燃性、毒性、腐蚀性特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，不得与公用氮气或工艺氮气系统相连； 2 不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源； 3 吹扫氮气管线必须设置止回阀。 4.3.2 吹扫氮气的气体面板应设有压力调节阀、排气管、高低压截止阀、高低压压力指示装置、安全阀。 4.3.3 特种; 2024-12-5 09:19

5 硅烷站: 2024-12-5 09:19

5.1 硅烷站工艺系统: 5.1.1 硅烷站工艺系统的设计应根据下列因素确定： 1 硅烷站的规模； 2 硅烷的物理化学性质； 3 当地硅烷供应的充装、运输状况； 4 用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求。 5.1.2 硅烷站应根据工艺要求、当地气候状况、硅烷设备状况选择采用封闭式、开敞式或露天形式进行布置。 5.1.3 硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及连接管道。 5.1.4 硅; 2024-12-5 09:19

5.2 硅烷站的布置: 5.2.1 硅烷站的总平面布置应符合下列规定： 1 应布置在工厂常年最小频率风向的下风侧，并应远离有明火或散发火花的地点； 2 不得布置在人员密集地段或主要交通要道邻近处； 3 硅烷站应采用单层钢筋混凝土或钢框架、排架结构。钢框架、排架结构应采用防火保护措施； 4 硅烷站应设置不燃烧体的实体围墙，其高度不应小于2.5m； 5 大宗硅烷系统设备必须布置在独立的; 2024-12-5 09:19

5.3 安全技术措施: 5.3.1 硅烷站的电气控制室应设置在独立的房间内；与硅烷气瓶库等有爆炸危险的房间相邻时，相邻的隔墙不得有门窗、洞口，隔墙的耐火极限不得低于3h。 5.3.2 硅烷站变压器室不得设在硅烷站内，也不得与硅烷站站房毗邻设置。 5.3.3 硅烷系统的设备应进行防静电接地。 5.3.4 硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应等于或小于硅烷爆炸浓度下限值的25%，并与硅烷气源的自动切断阀连锁；硅烷站环境气; 2024-12-5 09:19

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