C.12 超微粒子的测试

摘要: C.12.1 对洁净室(区)内粒径小于0.1μm的超微粒子的测试，可在三种占用状态中的任一种状态下进行测试。C.12.2 超微粒子的测试，宜采用凝聚核粒子计数器进行；其采样点和采样流量可按本规范第C.1节的要求进行。